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来源：界面新闻
2023-06-29 11:33:48
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新华社6月29日援引中国电子科技集团有限公司消息，该集团旗下中电科电子装备集团有限公司（简称电科装备）已实现国产离子注入机28纳米工艺制程全覆盖，有力保障我国集成电路制造行业在成熟制程领域的产业安全。
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